目前，全球高端半導(dǎo)體的制造都需要用到荷蘭ASML（阿斯麥）的EUV光刻機(jī)。日前，ASML開發(fā)副總裁透露：這臺(tái)價(jià)值1.2億美金的光刻機(jī)，由超過10萬個(gè)零部件組成， 其配送時(shí)間需要2年。

根據(jù)公開消息，在阿斯麥一年所制造出的全球尖端的EUV光刻機(jī)中，臺(tái)積電一家就采購(gòu)了44臺(tái)，而同為芯片巨頭的三星僅僅購(gòu)得了19臺(tái)。同時(shí)，海力士也加入了EUV光刻機(jī)的采購(gòu)行列。目前也是與阿斯麥簽下了高達(dá)43.4億美元的采購(gòu)協(xié)議。

荷蘭ASML（阿斯麥）是全球的EUV光刻機(jī)制造商，中芯的7nm雖然已經(jīng)技術(shù)開發(fā)完成，但目前卡脖子的關(guān)鍵一環(huán)就是買不到EUV。在新的媒體交流活動(dòng)中，ASML技術(shù)開發(fā)副總裁Tony Yen披露了一些EUV光刻機(jī)不為人知的細(xì)節(jié)。

EUV即極紫外光刻，它是借助13.5nm波長(zhǎng)極紫外光在硅晶圓上蝕刻數(shù)十億規(guī)模的微縮結(jié)構(gòu)。

按照Yen的說法，當(dāng)前ASML的EUV光刻機(jī)單臺(tái)售價(jià)1.2億美元(約合7.8億元)左右，由超過10萬個(gè)精密零部件組成。

Yen笑著表示，買我們的EUV光刻機(jī)可不是今天下單，兩天內(nèi)送達(dá)，通常需要兩年的時(shí)間才能配送到貨，發(fā)運(yùn)是需要多達(dá)40個(gè)集裝箱。

據(jù)悉，上臺(tái)EUV光刻機(jī)2010年在三星裝配，第二臺(tái)2011年進(jìn)駐臺(tái)積電。談及摩爾定律，ASML認(rèn)為少還能延續(xù)10年。

EUV曾研發(fā)數(shù)十年，ASML通過融資實(shí)現(xiàn)EUV蛻變

1999年美國(guó)特批了ASML參與了1997年成立的EUV LLC，而尼康沒有。

前者和浸入式一起確立了接下來ASML對(duì)尼康的技術(shù)優(yōu)勢(shì)；

后者確保了ASML在十五年后擴(kuò)大了壟斷優(yōu)勢(shì)。

事實(shí)上尼康在1991年就和日立開始研發(fā)EUV，NTT甚從80年代就開始了。無數(shù)機(jī)構(gòu)在三十年間成為鋪路石甚墊腳石。

2011年，ASML要在18寸光刻機(jī)和EUV兩線作戰(zhàn)，資金不足，而且EUV的風(fēng)險(xiǎn)巨大。于是ASML在2012年提出了客戶投資計(jì)劃，拿出25%的股份請(qǐng)主要客戶做聯(lián)合投資，那時(shí)ASML市值只有200億。

英特爾率先認(rèn)購(gòu)了15%。但是， 其中10%是對(duì)18寸晶圓光刻機(jī)的投資，只有5%是對(duì)EUV的投資。

臺(tái)積電認(rèn)購(gòu)了5%，三星只認(rèn)購(gòu)了3%(放棄了2%)。

截止美東時(shí)間2021年3月17日，ASML市值超過飛利浦+空客+寶馬的總和，達(dá)到2330.69億美元.